非蒸散型吸气真空泵的使用

非蒸散型吸气真空泵的使用 发布时间:[2019/1/7] 阅读次数:[ 45 ] 　　非蒸散型吸气真空泵多用锆铝合金吸气材料(84%锆、16%铝)在高温下吸附活性气体的特性而制成的真空泵。该真空泵结构简单，体积小，造价低，操作安全可靠，维修方便，清洁无油。对活性气体尤其是对氢具有很高的抽气能力。但不能抽惰性气体。此外还有一种锆钒铁合金材料(70%锆，24.6%钒，5.4%铁)作为吸气剂的活化温度450℃，室下对活性气体具有较大的抽速。 　　锆铝真空泵对氢及其同位素氘、氚的吸气是可逆的，而对其他活性气体的吸气是以稳定的化学物扩散到吸气剂体内，但存在饱和寿命问题。在10-8~1Pa压力范围内抽青速率几乎保持恒定。对气体活性气体CO、CO2、O2、N2、H2O等的吸气抽率，在压力低于10-3Pa时，在400℃温度下达到饱和。该真空泵对活性气体的吸气速率随着吸气剂吸气量的增加而降低。当吸气速率随着吸气量的增加而达到名义抽速的80%时，要在高温下再激活处理。在激活的次数一般可达20次。 　　这种真空泵可用在受控装置中储存和释放H2及其同位素氘、氚;在高等加速器的真空系统中与分子真空泵或溅射离子真空泵同时工作，能提高真空系统的极限真空;还可以用于转运H2及其同位素;用在超高真空装置时，连同装置一起放进烘烤装置中，不用外加电源便可作烘烤时的维持真空泵使用;也可用于溅射离子真空泵的启用。